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Panel FOUP
產品說明:
提供Panel/ABF/Glass在運輸傳載與儲存時的高效能防護,FOUP內部維持潔淨環境。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台參數設定作客製化修改,確保FOUP與機台之相容性。
產品規格:
Product:Panel FOUP
Dimension:L600 * W620 * H438(mm)
Substrate:客製化
Capability:客製化
Panel FOUP