Tape Frame FOUP(Auto)
- 產品說明:
應用於12吋 wafer frame傳送盒,容量13片氣密式FOUP設計,可提供film frame在運輸與儲存時的高效能防護,維持在的潔淨環境中,Shell一體成形的結構較堅固,以及靜電消散材質,可避免晶圓受靜電損害,可支援OHT,RFID,充氣功能,OHT符合SEMI標準可搭配天車,底盤符合SEMI標準,適用於市場上loadport機台。
- 產品規格:
- Product:Tape Frame FOUP(Auto)
- Dimension:L 385* W392 * H196(mm)
- Substrate:12 inch Metal FRAME
- Capacity:13pcs